亚虎平台游戏官网:超短脉冲激光器:“热”应用的高精密微切割

本文摘要:对于高精密的应用于,相同加工头微切割成是一种有潜力、在一些应用于可以替代扫瞄振镜冻消融的加工方式。该加工方式可更进一步通过锥角补偿、加工气体供给或工件处置优化。 讲解 非同脉冲(USP)激光器现在早已渐渐从研究实验室移往到了工业微加工。皮秒和飞秒级别的脉冲宽度使得材料需要不经过液化必要气化。 通过冻消融可以构建对玻璃、金属、陶瓷和聚合物的逐级除去。

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对于高精密的应用于,相同加工头微切割成是一种有潜力、在一些应用于可以替代扫瞄振镜冻消融的加工方式。该加工方式可更进一步通过锥角补偿、加工气体供给或工件处置优化。

  讲解  非同脉冲(USP)激光器现在早已渐渐从研究实验室移往到了工业微加工。皮秒和飞秒级别的脉冲宽度使得材料需要不经过液化必要气化。

通过冻消融可以构建对玻璃、金属、陶瓷和聚合物的逐级除去。钟表业正在用于这种技术展开细致雕刻,扫瞄振镜对复合材料的切割成和钻孔会导致任何的热影响区(HAZ),因而产生的表面和边缘质量较高(闻图1)。  图1:USP激光器通过冻消融的方式展开微加工。

  左:在一个聚合物芯片系统实验室上约200m长的微地下通道。  右:低边缘质量的铜表针,表明出有一个显著的锥角(宽度为0.7mm)。

  非同激光脉冲避免热影响  然而,对于某些应用于,用于扫瞄振镜冻消融的加工方式获得的精度与锥角是过于的。锥角是在切割成针的边界时产生的,部分是因为激光能量密度(每单位面积的能量)在那里较为较低,部分是因为材料在那里再行沉积。对于这些应用于,用于相同加工头、加工气体燃烧室和高精度轴是很有优势的。

然而,轴的加速度和速度与扫瞄振镜比起是微不足道的。因此,激光引进的热量在相同加工头的应用于中不会较为多。

即使是局部熔融材料也无法几乎回避这种现象。尽管如此,可以依旧维持工件质量。与液体激光器和CO2激光器的热激光切割成比起,非同脉冲保证引进的热量在时间和空间上是高效率的。

因此,依然会对工件导致热影响。用相同加工头的USP激光微切割成就如同微米范围的热加工。

  更为陡峭的锥角和较好的边缘质量  与扫瞄振镜的冷消融加工方式比起,如果能准确使用相同加工头微切割成加工,则能构成更加陡峭的锥角,同时保持良好的边缘质量。优化的燃烧室需要获取加工气体,在高压下去除材料的切缝。除了激光参数,燃烧室的几何形状和方位,以及加工气体的类型和压力某种程度明显影响着切割成效果。

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另一个最重要的方面就是适合的工件相同夹具的发展,同时反对可信的相同和材料的权利切割成(图2)。要将设计图引入激光系统加工时,必需考虑到激光的紧贴以及出口的方位。当牵涉到高精度,工艺的研发和质量的掌控时,就必须必要的测量设备,才需要可信地测量几微米和表面粗糙度值高于一微米的公差。

  图2:与扫瞄振镜冻消融加工方式比起,相同加工头微切割成能产生更高的精度和更加陡峭的锥角。  左:直径约5毫米的齿轮。  右:为了构建较好的质量,由燃烧室(顶部)获取加工气体和适合的工件相同是必不可少的。  相同光学需要对金属、硅和陶瓷等材料展开微切割成(图3)。

为了提升成本效率和生产率,可以考虑到平行的加工头。通快高功率非同脉冲激光TruMicro反对这样的分光方法(图4)。  图3:相同光学微切割成陶瓷。

  左:大约5mm直径的部分,是钟表行业应用于的一个测试几何形状。  右:蓝宝石和硅也可以用这个方法来切割成。  提升零件质量的先前处置方法  各种先前的处置或许需要进一步提高工件质量。

在丝电火花加工和识铣削的情况下,可以考虑到热处理以取得目标强度、硬度或热处理材料。为了优化坚硬的表面,如果需要的话,可以用一些化学的机械后处理方法。激光切割成工件,有时不会通过电化涂层来超过理想的表面。

钟表业是应用于相同光学微切割成或铁环加工方式最重要的领域之一,如红宝石微轴承、手表手柄或其他元素。  图4:TruMicro5000皮秒和飞秒系列激光器可获取的平均功率约100瓦,脉冲能量高达250微焦耳。非同脉冲的脉长与其它参数融合,有助增加和避免热影响区域(HAZ)。  为钻小孔设计的开孔加工头  在加工过程中,一般来说我们必须获得一个陡峭的90度锥角。

对于小孔的钻孔,用于所谓的开孔加工头可以做。当它牵涉到到更加简单的几何形状的微切割成时,这种类型的方法也显得更加有优势。

从热管理的角度来看,这个加工方式与用于准确的机械轴相同加工头微切割成来加工是类似于的。然而,一些研发工作仍须要改良现有开孔加工头,使得它们显得更加人性化,限于于比较复杂的工业微切割成应用于。一个有意思而具备挑战性的自由选择是工件夹具由一个弯曲的锥角来补偿,尤其是切割成出有整个工件。


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